我們知道,壓力變送器在很多工業設備中,是用來控制工業過程和壓力變化的重要原件,其主要用于測量液體、氣體或蒸汽的液位、密度和壓力。壓力變送器分電容式壓力變送器和擴散硅壓力變送器,陶瓷壓力變送器,應變式壓力變送器等。

   壓力變送器是直接與被測介質相接觸的現場儀表,常常在高溫、低溫、腐蝕、振動、沖擊等環境中工作。在石油、化工、電力、鋼鐵、輕工等行業的壓力測量及現場控制中,應用非常廣泛。   

下面,小編為您簡單介紹一下有關壓力變送器的發展歷程。

總體來說,壓力變送器的發展大體經歷了如下四個階段。   

1945-1960年的發明階段   

這個階段主要是以1947年雙極性晶體管的發明為標志。此后,半導體材料的這一特性得到較廣泛應用。史密斯于1945年發現了硅與鍺的壓阻效應,即當有外力作用于半導體材料時,其電阻將明顯發生變化。依據此原理制成的壓力變送器是把應變電阻片粘在金屬薄膜上,即將力信號轉化為電信號進行測量。此階段最小尺寸大約為1厘米。        

1960-1970年的技術發展階段   

隨著硅擴散技術的發展,技術人員在硅的001或110晶面選擇合適的晶向直接把應變電阻擴散在晶面上,然后在背面加工成凹形,形成較薄的硅彈性膜片,稱為硅杯。這種形式的硅杯變送器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩定性好、成本低、便于集成化的優點,實現了金屬-硅共晶體,為商業化發展提供了可能。   

1970-1980年的商業化集成加工階段   

在硅杯擴散理論的基礎上應用了硅的各向異性的腐蝕技術,擴散硅變送器其加工工藝以硅的各項異性腐蝕技術為主,發展成為可以自動控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術,主要有V形槽法、濃硼自動中止法、陽極氧化法自動中止法和微機控制自動中止法。由于可以在多個表面同時進行腐蝕,數千個硅壓力膜可以同時生產,實現了集成化的工廠加工模式,成本進一步降低。   

1980年至今的微機械加工階段   

上世紀末出現的納米技術,使得微機械加工工藝成為可能。通過微機械加工工藝可以由計算機控制加工出結構型的壓力變送器,其線度可以控制在微米級范圍內。利用這一技術可以加工、蝕刻微米級的溝、條、膜,使得壓力變送器進入了微米階段。


您的評論
用戶評論
相關文檔推薦
熱門標簽
    广西新11选5走势图 体彩排列三和值走势图带连线专业版 mg是什么意思 一波中特图库 江苏快3app是真的吗 快乐赛车开奖结果app 竞彩篮球混合过关2×1 香港六合彩12生肖号码 真人版梭哈平台 bg真人是什么意思 广西快3遗留间隔统计表 老11选5中奖规则 秒速时时彩冠金定胆 陕西快乐十分规则 天天博娱乐平台 北京赛车pk10推荐计划 体彩浙江体彩6+1开奖结果查询果